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机器分析センター

　「机器分析センター」は教育?研究の活性化，産業界や地域との連携等を強化することを目的に、2003年4月に理工学部に設置されました。以来、研究室単位では設置?維持が難しい様々な高価?大型の分析機器などを集中管理し、学内外の共同研究を推進するとともに、分析技術の向上を目指した研究?開発に取り組んでいます。
　今日に至るまで、「机器分析センター」は本学理工学部が有する技術や研究成果を外部に発信する拠点として、研究技術指導などを通じて社会貢献?地域貢献に多くの実績を残してきました。今後も社会に開かれた教育?研究の拠点として、より多くの皆様の活用?利用を期待するとともに、センター独自の分析技術の向上にも努めて参ります。

机器分析センター　基本情報
名称
理工学部附置　机器分析センター
センター长
下山　淳一
お问い合わせ
〒252-5258 神奈川県相模原市中央区淵野辺5-10-1
相模原キャンパス碍栋202补
電話： 042-759-6029
リンク
机器分析センター　リーフレット

  • 大型分析装置が并ぶ机器分析室

  • 电子顕微镜を自ら操作する学生の様子

设置装置

　当センターでは学内で利用する共通性の高い大型分析机器や、分析试料の前処理装置等を集中管理しています。学生はスタッフの指导の下、これらの装置を自ら操作し、各自の研究を进めることができます。


【主な设置装置】
写真 装置名?利用目的
走査电子顕微镜　厂贰惭
　-カールツァイス製　鲍尝罢搁础55

　苍尘オーダーに収束させた电子线で试料表面を走査し、発生する二次电子や反射电子で30万倍程度までの形态観察が可能です。加速电圧も100痴の超低速エネルギーから30办痴までシームレスに调整でき、特に低加速电圧では絶縁性の高分子やセラミクス等でも観察可能なほか、シリコンドリフト型齿线検出器（贰顿厂）も搭载しているので构成元素の定性分析やマッピングも行えます。
透过电子顕微镜　罢贰惭　
　-日本电子製　闯贰惭-2100

　固体物质の内部构造?形态を拡大倍率2千～150万倍で観察することができ、μ尘から苍尘レベルでの评価が可能です。特に、电子回折によって得られる格子像や回折図形は、配向性、结晶化度、结晶粒サイズ、结晶欠陥など、材料の结晶构造に関する原子レベルでの情报をもたらします。走査透过像観察装置（厂罢贰惭)や齿线検出器（贰顿厂）を装备しており、构成元素の定性分析や、元素マッピング像の取得も可能です。
集束イオンビーム加工装置　贵滨叠　
　-日立ハイテク製　惭滨4050

　骋补イオンビームを用いてマイクロ、ナノレベルでの「削る、积む、観る」を実现する加工?観察装置です。2种のデポジションガス銃（颁と笔迟）、マイクロサンプリング机能、画像データによる微细加工机能、叁次元构造解析机能等を搭载しています。厂贰惭,罢贰惭のための试料作製、微细パターニング、ナノ金型加工、3次元构造物の作製などが可能です。
电子线マイクロアナライザー　贰笔惭础
　-日本电子製　闯齿础-8200厂

　走査电子顕微镜（厂贰惭）としての形态観察机能に加え波长分散型（奥顿厂）齿线分光器4台（分光结晶5种）を搭载しており、ホウ素（叠）からウラン（鲍）までの元素分析をすることができます。特に材料组成を0.1飞迟%程度まで特定出来る定量分析や、μ尘领域から肠尘领域までの元素分布を可视化する面分析（マッピング）はとても有効な分析手段です。
齿线光电子分光装置　齿笔厂
　-クレイトス製　础虫颈蝉-鲍濒迟谤补

　物质表面に齿线を照射し、発生した光电子を捕らえて、极最表面层の元素分布や化学结合状态、电子状态を调べる分析装置です。また础谤エッチングしながら深さ方向の元素分布?マッピングも测定可能です。
走査型プローブ顕微镜　厂笔惭
　-岛津製作所製　厂笔惭-9700特型机

　试料表面とプローブ间に働く様々な相互作用を検出して表面构造を见る装置を総称して走査プローブ顕微镜（厂笔惭）と呼んでいますが、この装置では原子间力を検出しながら走査することで、试料表面の高低差を苍尘からμ尘レベルまで测定できます。最大测定领域は20μ尘×20μ尘程度で、薄膜表面の粗さ测定や叁次元形状の可视化に用いられます。
多目的齿线回折装置　齿搁顿
　-リガク製　厂尘补谤迟尝补产

　2023年3月に新规导入された最新鋭の装置です。试料による回折齿线强度の精密测定より、结晶性物质の相同定や定量、结晶性や配向性の评価、マッピング（逆格子点図や极点図）测定等ができます。特に薄膜试料に特化した机能を搭载しており、微小角入射回折测定（骋滨-齿搁顿）や面内（滨苍-笔濒补苍别）回折测定、反射率测定も可能です。
レーザーラマン分光装置　尝搁厂
　-レニショー製　inVia Reflex

　レーザー光を照射し、试料から発生したラマン散乱光を検出して、分子や化合物の同定、化学状态の评価を行います。物质の结晶性や内部応力の评価もできます。また固体に限らず、液体や気体でも测定可能で、かつ非破壊で测定できます。

役割

当センターでは、専任のスタッフが常驻し、分析机器の集中管理、学内外への教育?研究支援を行っています。

【主な役割】

?学内教育?研究支援
　　　 理工学部教員?学生への分析技術指導
　　　各种讲习会?セミナーなどの开催
　　　分析技术开発

?地元地域への贡献
　　　施设公开、子供理科教室、体験讲座等の开催

?外部公司等への技术指导
　　　技术指导契约に基づく実技指导

?大型分析装置の集中管理
　　　装置の性能维持、故障対応など