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2015.07.21

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组织名:在学生の皆様へ

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須古彩香さん(理工?博士前期2年)が13th ISSP(The 13th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes)で「Best Poster Award」を受賞

須古彩香さん(理工学研究科机能物质创成コース博士前期課程2年?重里有三研究室)が、2015年7月8日(水)~10日(金)、京都リサーチパークで開催された「The 13th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes(スパッタリングおよびプラズマプロセスに関する第13回国際シンポジウム)」におけるポスター発表(使用言语:英語)で「Best Poster Award」を受賞しました。
同会议は、半导体デバイス、物质科学、无机化学、薄膜工学、环境技术、ナノテクノロジーをはじめとした幅広い学术分野の研究者が集い、様々な机能性薄膜を合成するスパッタリング法とプラズマプロセスについて议论をかわす国际会议で(今回は19ヶ国から约250名が参加)、同赏は、同会议内で行われた115件のポスター発表のうち、特に优秀であると认められた3件におくられました。

須古さんの研究発表は「Study on the crystallization of amorphous IGZO thin films deposited by dc magnetron sputtering(直流マグネトロンスパッタ法で合成したアモルファスIGZO薄膜の結晶化に関する研究)」* です。
须古さんは、近年発明され、透明アモルファス酸化物半导体(性能が优れていることから最近、スマートフォンから高精细の大型液晶ディスプレイや有机贰尝ディスプレイ等に応用されている半导体)として利用されている酸化インジウム?ガリウム?亜铅(补-滨骋窜翱)薄膜のホモロガス构造と呼ばれる层状の结晶成长过程を原子レベルで解明し、薄膜の电気特性や薄膜トランジスタ(罢贵罢)のデバイス特性に与える影响を明らかにしました。この研究成果は、より高机能で耐久性のある様々な光エレクトロニクスデバイスの开発に役立つと期待されています。
なお、本研究は、重里研究室と出光兴产株式会社が5年以上にわたって共同で研究を行ってきた产学共同研究成果のひとつです。

?* 同研究は、须古さんの他、以下の研究者が共同研究者として研究にかかわっています。
贾军军(青山学院大学理工学部化学?生命科学科助教(重里研究室所属))
中村新一(青山学院大学理工学部附置机器分析センター职员)
宇都野太(出光兴产株式会社)
川嶋絵美(青山学院大学理工学研究科机能物质创成コース博士前期課程修了(秋光研究室)、現 出光興産株式会社)
矢野公规(出光兴产株式会社)
重里有叁(青山学院大学理工学部化学?生命科学科教授)&苍产蝉辫;

また本研究では、In(インジウム)、Ga(ガリウム)、Zn(亜鉛)という複数の原子の配列による酸化物の結晶構造の解析が重要な要素となっていますが、ナノ(原子)レベルの解析を行うにあたって、本学理工学部附置機器分析センターに装備されている透過型電子顕微鏡(400kV-TEM, JEM-4010)を使用しています。

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